VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
p-Type Silicon (100): 35 toa, Native Oxide        
1

NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1

p-Type Silicon (100): 35 toa, Native Oxide        
2003
5
10
14
58
55
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
30.23
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
107
-0.0392157
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
40
4.00E-06
0
0
0
0
512
209
3400
0.559039
0.560252
352
0.560252
332
0.560247
345
0.560242
329
0.560237
322
0.560232
339
0.560228
374
0.560223
362
0.560218
356
0.560213
343
0.560209
334
0.560204
323
0.560199
342
0.560194
322
0.560189
363
0.560185
331
0.56018
357
0.560175
310
0.56017
314
0.560166
371
0.560161
338
0.560156
345
0.560151
356
0.560146
320
0.560142
326
0.560137
372
0.560132
349
0.560127
310
0.560123
346
0.560118
335
0.560113
348
0.560108
358
0.560103
337
0.560099
335
0.560094
338
0.560089
324
0.560084
353
0.56008
328
0.560075
355
0.56007
406
0.560065
349
0.560061
370
0.560056
377
0.560051
396
0.560046
373
0.560041
447
0.560037
460
0.560032
383
0.560027
468
0.560022
467
0.560018
486
0.560013
490
0.560008
568
0.560003
551
0.559999
609
0.559994
602
0.559989
630
0.559984
643
0.559979
629
0.559975
671
0.55997
760
0.559965
790
0.55996
823
0.559956
856
0.559951
846
0.559946
871
0.559941
812
0.559937
949
0.559932
945
0.559927
1008
0.559922
1036
0.559918
988
0.559913
1063
0.559908
1071
0.559903
1104
0.559898
1146
0.559894
1138
0.559889
1179
0.559884
1151
0.559879
1079
0.559875
1116
0.55987
1164
0.559865
1096
0.55986
1181
0.559856
1106
0.559851
1070
0.559846
1066
0.559841
1064
0.559837
1040
0.559832
1060
0.559827
1017
0.559822
978
0.559817
911
0.559813
894
0.559808
929
0.559803
922
0.559798
880
0.559794
830
0.559789
811
0.559784
747
0.559779
698
0.559775
714
0.55977
704
0.559765
674
0.55976
663
0.559756
650
0.559751
585
0.559746
577
0.559741
599
0.559737
556
0.559732
536
0.559727
535
0.559722
520
0.559718
511
0.559713
476
0.559708
495
0.559703
469
0.559699
486
0.559694
437
0.559689
463
0.559684
481
0.559679
435
0.559675
424
0.55967
379
0.559665
403
0.55966
399
0.559656
393
0.559651
415
0.559646
423
0.559641
386
0.559637
455
0.559632
388
0.559627
392
0.559622
349
0.559618
346
0.559613
404
0.559608
394
0.559603
398
0.559599
375
0.559594
402
0.559589
398
0.559584
411
0.55958
410
0.559575
411
0.55957
425
0.559565
405
0.559561
426
0.559556
385
0.559551
375
0.559546
415
0.559542
445
0.559537
416
0.559532
388
0.559527
476
0.559523
436
0.559518
464
0.559513
534
0.559508
543
0.559504
608
0.559499
591
0.559494
693
0.559489
798
0.559485
876
0.55948
1037
0.559475
1125
0.55947
1279
0.559466
1517
0.559461
1583
0.559456
1856
0.559451
1968
0.559447
2049
0.559442
2042
0.559437
2118
0.559432
2218
0.559428
1973
0.559423
2077
0.559418
2048
0.559413
2101
0.559409
2159
0.559404
2237
0.559399
2445
0.559394
2704
0.55939
2826
0.559385
3055
0.55938
3225
0.559375
3400
0.559371
3298
0.559366
3387
0.559361
3329
0.559356
3161
0.559352
2955
0.559347
2615
0.559342
2440
0.559337
2049
0.559333
1756
0.559328
1415
0.559323
1181
0.559318
971
0.559314
827
0.559309
618
0.559304
600
0.5593
493
0.559295
459
0.55929
418
0.559285
356
0.559281
296
0.559276
319
0.559271
314
0.559266
278
0.559262
294
0.559257
287
0.559252
247
0.559247
255
0.559243
267
0.559238
254
0.559233
264
0.559228
241
0.559224
266
0.559219
254
0.559214
243
0.559209
280
0.559205
259
0.5592
246
0.559195
245
0.55919
279
0.559186
236
0.559181
271
0.559176
251
0.559172
209
0.559167
233
0.559162
249
0.559157
261
0.559153
235
0.559148
218
0.559143
229
0.559138
236
0.559134
225
0.559129
235
0.559124
249
0.559119
232
0.559115
214
0.55911
238
0.559105
223
0.5591
218
0.559096
225
0.559091
234
0.559086
234
0.559082
256
0.559077
219
0.559072
234
0.559067
252
0.559063
239
0.559058
264
0.559053
224
0.559048
213
0.559044
245
0.559039
end of experiment
